1. AMC- Internationale Vereniging voor Halfgeleidertechnologie en -materialen SEMI
Als belangrijk lid op het gebied van filters spelen chemische filters een cruciale rol vanwege hun professionaliteit en bijzonderheid. De belangrijkste kenmerken zijn: zeer efficiënte filtratie, corrosiebestendigheid bij hoge temperaturen, een verscheidenheid aan filtermaterialen om uit te kiezen, gemakkelijke installatie en onderhoud, en intelligentie, enz.
Chemische filters zijn de belangrijkste hulpmiddelen bij oplossingen voor het beheersen van gasvormige verontreinigende stoffen. AMC kan verder worden ingedeeld in vier typen: MA, MB, MC en MD. MA is een bijtende stof en de chemische reactiekarakteristiek is een elektronenacceptor. Het bevat meestal fluorwaterstofzuur, chloorgas, zwavelzuur en andere stoffen die ontsnappen tijdens fotolithografie- en etsprocessen.
MB is een bijtende stof en de chemische reactiekenmerken zijn elektronendonoren, waaronder NH3 en aminen. MC verwijst over het algemeen naar organische verbindingen met een kookpunt van meer dan 150°C onder normale druk en die vatbaar zijn voor condensatie op het oppervlak van objecten. MD verwijst naar een chemisch element dat de elektrische geleidbaarheid van halfgeleidermaterialen kan veranderen.
2、De installatielocatie van chemische filters moet rekening houden met de specifieke toepassingsscenario's. De belangrijkste overwegingen zijn: de bron van verontreinigende stoffen, de efficiëntie van de behandeling en het systeemontwerp, enz. Ze worden meestal geïnstalleerd in systemen zoals airconditioningboxen voor verse lucht, circulerende retourairconditioningboxen, ventilatorfilterunits en micro-omgevingsuiteinden.
3 、 De regeling van AMC kan worden bereikt door gebruik te maken van een gasfase luchtfiltratiesysteem, dat gebruik maakt van een of meer droog- en zuiveringsmedia. De selectie van chemische filtermaterialen in dit systeem wordt gekenmerkt door diversiteit en intelligentie, waardoor gebruikers meer gerichte opties krijgen.
4 、 Chemische filters worden veel gebruikt in industriële productieprocessen zoals galvaniseren, productie van halfgeleiders, medische zorg, laboratoria en behandeling van milieubescherming. Ze zorgen voor de veiligheid van de productieomgeving door zure/alkalische gassen en organische afvalgassen te adsorberen en te neutraliseren.
