Micro-elektronica Schone Lucht Totaaloplossing

Algehele micro-elektronica-oplossing

Met de succesvolle transformatie van China van een "productiegigant" naar een "kwaliteitsproductiegigant", is er een groot aantal bekende hightech productiebedrijven in het land ontstaan en zijn er ook veel hightechprojecten geïmplementeerd en uitgevoerd op veel plaatsen in het land.

Nog niet zo lang geleden zal een 12-inch waferfabriek die net in China is gebouwd, zich richten op het onderzoek naar en de ontwikkeling van 19nm-procestechnologie voor de productie van DRAM (Dynamic Random Access Memory). Nadat het project in werking is gesteld, zal de maximale maandelijkse productiecapaciteit 125.000 wafers bereiken, waarmee het gat in de high-end DRAM-productie-industrie in China effectief wordt opgevuld en een plaats wordt ingenomen tussen de wereldwijde DRAM-fabrikanten.

Bescherm de "Chinese chip"

De ingebruikname van dit project zal ook de uitgebreide ontwikkeling van de hele Pearl River Delta-regio stimuleren, inclusief apparatuur, materialen, terminals en andere aspecten. Het kan gezegd worden dat de ingebruikname van deze waferfabricagefabriek het tempo van industriële transformatie en modernisering in Hefei zal versnellen.

Naar verluidt zal China tegen 2025 ongeveer 25 12-inch waferprojecten in gebruik nemen, waarmee het monopoliesysteem van buitenlandse bedrijven in één klap wordt doorbroken.

Problemen en moeilijkheden

Ook bij de bouw van de fabriek en de aanschaf van apparatuur deden zich enkele moeilijkheden voor. Vanuit een technisch perspectief, bij het gebruik van de 19nm-procestechnologie om DRAM te produceren, is het geellichtlithografiegebied onder dit proces extreem gevoelig voor AMC-gas. Zelfs een kleine afwijking in de schone luchtkwaliteit in de werkruimte heeft een directe invloed op het uiteindelijke productierendement. Daarom moet de concentratiewaarde van de AMC-procesomgeving gedurende het gehele productieproces strikt worden gecontroleerd.

Eindoplossing

Als een van de wereldleiders op het gebied van oplossingen voor schone lucht zet RZJ zich al bijna een eeuw in voor de ontwikkeling van zeer efficiënte en energiebesparende filtratieoplossingen voor de micro-elektronica-industrie, waaronder fijnstof- en AMC-filtratie. Het volledige productassortiment omvat grof-, middel- en hoogrendementsluchtfilters, chemische filters, huishoudelijke filters, laminaire stromingskappen en andere zuiveringsapparatuur. Als antwoord op de eisen van dit complexe kristallisatieproces op hoog niveau, heeft AAF een oplossing van chemische gasbehandeling met FFU-lading aangenomen. Twee chemische filters werden bovenop de FFU gelegd en AMC's ter plaatse bemonsteringstests werden uitgevoerd om snel en nauwkeurig de luchtkwaliteitsgegevens in de werkelijke omgeving te extraheren en te ordenen, en op basis hiervan werden redelijke oplossingen geformuleerd.

Strenge kwaliteitscontrole en een compleet testsysteem

RZJ heeft het altijd als haar verantwoordelijkheid genomen om het milieu te beschermen, bedrijfsrisico's te verminderen en de kosten voor luchtzuivering te verlagen. Tot op zekere hoogte komt het streven naar uitmuntendheid in zijn producten ook voort uit zijn eigen praktijk. AAF zelf beschikt over PTFE-cleanrooms met een hoge reinheidsgraad van 10.000 niveau, hoogrenderende filtercleanrooms, FFU-cleanrooms en industriële en commerciële filterproductielijnen. RZJ is uitgerust met geavanceerde faciliteiten. De productie vindt plaats met gestandaardiseerde productieprocessen en strenge kwaliteitsnormen.

Bovendien beschikt RZJ over een compleet testsysteem. Van grove, middelmatige en hoogrendementsfilters tot hoogrendements- en ultrahoogrendementsfilters, evenals filtratieapparatuur, RZJ voert allround prestatietests uit op producten in overeenstemming met de geavanceerde testnormen van de industrie.